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六氟乙烷

中文名称:六氟乙烷
英文名称:hexafluoroethane

六氟乙烷安全技术说明
一、产品介绍
                                中文名称:六氟乙烷                             英文名称:hexafluoroethane
                                化学式:C2F6                                       CAS号:76-16-4
                                熔点(℃): -101                               沸点(℃): -78
                                亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。
二、主要用途
             可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅?#31995;?#20108;氧化硅。
          作制冷剂方面:六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)
三、技术指标

纵特化工产品质量指标
项目名称 质量指标
六氟乙烷(C2F6).ppmv                    ≥ 99.999%
氧气(O2).ppmv                          ≤ 2.0
氮气(N2).ppmv                         ≤ 8.0
二氧化碳(CO2).ppmv                      ≤ 0.5
一氧化碳(CO).ppmv                       ≤ 0.5
水份(H2O).ppmv                          ≤ 1.0
酸度(以HF计).ppmv                    ≤ 0.1
其它有机物.ppmv                      ≤ 1.5
?#21046;?#21253;装 容积 净重
44L 40kg
?#21046;?#38400;门 CGA660/DISS716
 
 
 


  四、运输信息
                           危险货物编号: 22034            UN编号: 2193
                           包装类别: O53                  包装方法: ?#31181;?#27668;瓶。
              运输注意事项: 采用刚瓶运输时必须戴好?#21046;可系?#23433;全帽。?#21046;懇话?#24179;放,并应将瓶口朝同?#29615;?#21521;,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡?#21361;?#38450;止滚动。严禁与氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。                     铁路运输时要禁止溜放。
 五、泄漏处理
                   应急处理: 迅速?#38450;?#27844;漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,将漏气的容器移?#37327;?#26103;处,注意通风。漏气容器要妥善处理,修                      复、检验后再用。
 六、储存注意
             储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
  
  
 
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